沟槽肖特基TMBS、沟槽工艺

1.希望解决的主要技术:需要专家指导挖槽工艺。新产品沟槽肖特基中需要用到挖槽工艺，优良的沟槽形状对降低TMBS产品的漏电流和提高击穿电压有决定性作用。 2.需求提出背景及主要应用领域方向：随着对电子产品节能环保要求的提高，对广泛应用于电子产品的肖特基二极管电学性能的要求也越来越高。沟槽式肖特基二极管（TMBS）由于其优异的性能而备受青睐。沟槽式结构对提高肖特基二极管性能起着至关重要的作用。 基于肖特基二极管的应用和TMBS二极管的优势，TMBS二极管通常应用于以下领域： 高 功率开关电源：由于其低正向压降和高反向击穿电压，TMBS二极管 管非常适合用于高功率开关电源中的整流和续流。 电 电动汽车：在电动汽车的电机驱动系统中，TMBS二极管可以用于 于高频整流和逆变器中的续流二极管，提高系统的效率和可靠性。 太 太阳能逆变器：在太阳能发电系统中，TMBS二极管可以用于逆变 变器中的整流和续流，提高系统的效率和稳定性。 工 工业自动化：在工业自动化设备中，TMBS二极管可以用于高频整 整流和保护电路，提高设备的可靠性和效率。 优势企业：杭州立昂等 3.技术难点：沟槽形状的控制、沟槽深度的控制、沟槽横向钻蚀的控制。 4.对主要技术指标、成本、周期等有关要求：沟槽底部形状为圆角沟槽，槽深控制在要求范围内，沟槽形状为上宽下窄。此沟槽形状可以有效减小肖特基结的反向漏电，提高反向击穿电压，同时还能实现较低的正向导通电压。 5.其他关联服务需求：希望专家对TMBS产品有很深的认识，同时对挖槽工艺具备丰富的经验。对沟槽刻蚀的终点检测、槽形监控等给予指导。 — 采集元信息 — 需求单位：朱琪 所在地区：江苏 行业分类：电子信息 预算：面议 数据来源：江苏省技术产权交易市场 来源链接：https://rgzn.jstec.com.cn/crowdsourcing/demandDetail?id=202623728051182245